Fraunhofer-GesellschaftJoseph-von-Fraunhofer-Preis 2021
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Die Evolution der Mikrochips schien, was ihre Größe anbelangt, an eine Grenze gestoßen zu sein. Dennoch ist es für die Weiterentwicklung zahlreicher Geräte, wie etwa Smartphones, entscheidend, dass die kleinen Komponenten kleiner und leistungsfähiger werden. Das Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT aus Itzehoe und die IMS Nanofabrication GmbH konnten die bisher erreichte Grenze nun ein gutes Stück verschieben: Für die MEMS-Prozessierung eines Mikrosystem-Schaltelements, welches das Herzstück eines Elektronenstrahl-Maskenschreibers ist, an dem kein Weg vorbeiführt, wenn es um die Fertigung von Mikrochips der neusten Generation geht. Dafür erhalten Sie den Joseph-von-Fraunhofer-Preis 2021.